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​제품소개

세미안과 함께하는 미시에서 나노까지의 여정,

보이지 않는 것을 발견하세요.

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About

SEMIAN

MINI SPUTTER

SMC-10S

* 세상에서 가장 작은 최소형의 MINI 스퍼터입니다.

* One Touch 전자동으로, 30초 이내에 진공 완료 후, 1분 이내에          코팅 완료가 가능합니다.

* 글러브 박스 통합용 In&Out 포트를 통한 간편한 로딩이 가능하며        최소 공간 요구 공간은 175x172mm입니다.

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​세상에서 가장 컴팩트한 스퍼터를 만나보세요.

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Features

  • 최소의 공간에 용이하게 설치 가능 (중량 : 4kg)

  • 시료 장착 후 One Touch로 전과정을 자동으로 수행합니다.                        (진공 – 플라즈마 코팅 – Auto Venting )

  • 빠른 Evacuation 작동: OneTouch를 사용하여 1분 미만의 시간으로 진공 완료를 달성하며 신속한 코팅 프로세스를 용이하게 합니다.

  • 마그네드론 방식으로 시료에 열손상 없이 짧은 시간에 도전성 박막 형성이 가능.

  • 코팅 전류를 1mA에서 최대 30mA까지 조절이 가능하여, 부드러운 코팅과 두꺼운 박막 형성도 쉽게 가능합니다.

  • RT 시료 스테이지 : 0도에서 45도까지 기울기 조절 가능한 회전 모터 스테이지(최대 30RPM)를 특징으로 하여 샘플의 균일한 측면 코팅을 보장합니다.

  • 진공 후 자동 전원 Off 기능으로 Clean한 챔버 상태를 유지합니다.

  • 소형 및 경량 설계: 최소한의 크기와 무게로 설계되어 글러브 박스의 In-Out 포트를 통해 쉽게 설치할 수 있습니다. (아르곤, 질소 환경에서 사용 가능)

  •  수분 및 산소 차단: 글러브 박스 내에서 스퍼터링을 수행하면 공기 중의 수분 및 산소의 영향을 제거하여 박막의 순도와 품질을 향상시킵니다.

Tilt Rotation
Option

OPTION 1: Horizontal Sample Stage

기본 모듈_edited.png
SPUTTER MODULE.png

OPTION 2: Tilt Rotation Sample Stage

                   

45 degree

0 degree

*Adjustable from 0 to 45 degree

Specifications

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