제품소개
세미안과 함께하는 미시에서 나노까지의 여정,
보이지 않는 것을 발견하세요.
제품소개
세상에서 가장 컴팩트한 스퍼터를 만나보세요.
Features
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최소의 공간에 용이하게 설치 가능 (중량 : 4kg)
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시료 장착 후 One Touch로 전과정을 자동으로 수행합니다. (진공 – 플라즈마 코팅 – Auto Venting )
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빠른 Evacuation 작동: OneTouch를 사용하여 1분 미만의 시간으로 진공 완료를 달성하며 신속한 코팅 프로세스를 용이하게 합니다.
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마그네드론 방식으로 시료에 열손상 없이 짧은 시간에 도전성 박막 형성이 가능.
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코팅 전류를 1mA에서 최대 30mA까지 조절이 가능하여, 부드러운 코팅과 두꺼운 박막 형성도 쉽게 가능합니다.
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RT 시료 스테이지 : 0도에서 45도까지 기울기 조절 가능한 회전 모터 스테이지(최대 30RPM)를 특징으로 하여 샘플의 균일한 측면 코팅을 보장합니다.
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진공 후 자동 전원 Off 기능으로 Clean한 챔버 상태를 유지합니다.
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소형 및 경량 설계: 최소한의 크기와 무게로 설계되어 글러브 박스의 In-Out 포트를 통해 쉽게 설치할 수 있습니다. (아르곤, 질소 환경에서 사용 가능)
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수분 및 산소 차단: 글러브 박스 내에서 스퍼터링을 수행하면 공기 중의 수분 및 산소의 영향을 제거하여 박막의 순도와 품질을 향상시킵니다.
Tilt Rotation
Option
OPTION 1: Horizontal Sample Stage
OPTION 2: Tilt Rotation Sample Stage
45 degree
0 degree
*Adjustable from 0 to 45 degree