제품소개
세미안과 함께하는 미시에서 나노까지의 여정,
보이지 않는 것을 발견하세요.
제품소개
주요 특징
안전성
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세미안 오스뮴 코터는 안전성을 고려한 독창적인 디자인을 적용하여 오스뮴 관리의 효율성, 지속적인 가스 모니터링, 이중챔버를 통한 미반응 가스 연소 및 사용자 중심의 자동화 설계를 통해 뛰어난 안전성을 제공합니다.
고성능
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"플래시 모드"를 통해 반응되지 않은 오스뮴 가스의 방출을 최소화하고, 오스뮴 소비를 줄이며 응축을 최소화하여 높은 성능을 제공합니다.
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이중 밸브를 장착하여 오스뮴 가스를 정밀하게 제어하므로 SEM 또는 TEM에서 고품질 이미지를 보장합니다.
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장시간 이용하지 않고 작업을 재개할 경우에도 추가적인 앰퓰 배출 전처리 작업이 필요하지 않습니다.
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샘플 오염 제거 및 산화막 제거를 위한 내장된 전처리가 가능합니다.
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TEM 관찰을 위한 내장된 글로우 디스차징 기능을 제공합니다.
향상된 코팅방법:
화학기상증착(CVD)
화학 기상 증착 (CVD) 방법을 활용하여 기체 확산 상태에서 코팅을 하는 것으로, 다공성 및 복잡한 샘플 구조에 균일하게 코팅이 적용됩니다.
오스뮴 코팅은 확산 상태로 적용되어 스퍼터 이온 코터에서는 불가능한 다공성과 복잡한 시료 구조에도 균일한 코팅을 가능하게 합니다. 비정질적인 특성으로 인해 최고 배율까지 깨끗한 이미지 관찰이 가능합니다. 또한, 장기간의 전자 빔 노출에도 최소한의 손상을 유지하는 장점을 가지고 있습니다.
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결정화 현상이 없는 세미안 오스뮴 코팅
세미안의 Flash 방식(0.5sec Flash, 3번, 두께- 5nm)으로 Osmium Gas 공급을 진행하면서 Coating한 Image로서, x100k 배율에서 Osmium 박막이 균일하게 형성되고, 오스뮴 입자도 관찰되는 않음을 알 수 있다. ( Flash 방식이 유해 가스 방출이 적고, 결정화 발생이 없는 좋은 결과를 얻을 수 있음 )
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결정화가 발생된 오스뮴 코팅
Time 방식(10sec 연속, 두께- 6nm)으로 Osmium Gas 공급을 진행하면서 Coating한 Image로서, x100k 배율에서 Osmium 박막은 균일하게 형성되었으나, 오스뮴 결정화가 관찰됨. (흡착이 잘 안되는 시료에 다량의 오스뮴 가스가 공급될 떄 발생되는 현상 )
사용자의 안전을
우선합니다.
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부착된 보조 챔버를 통한 오스뮴 잔류물의 효과적인 제거.
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본 챔버 내 자동 가스 존재 감지로, 오스뮴 앰풀 교체 시기 사용자 알림 기능.
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본 챔버 내 가스 누설 감지 및 경고 알림 기능.
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오스뮴과의 직접적인 접촉 없이 챔버에 손쉽게 넣을 수 있도록 설계된 앰풀 카트리지. 더불어, 편리한 청소를 위해 쉽게 분리 가능.
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사용자 안전과 편의를 위해 디자인된 앰퓰 카트리지는 유해한 오스뮴과 직접 접촉 없이도 챔버에 넣을 수 있도록 해줍니다. 또한 손쉬운 청소를 위해 쉽게 분리 가능합니다.
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Fume and
Sample Auto Handling System
종합적인 가스 유출 방지
세미안의 SOC-12F 모델을 통해 안전과 편의가 완벽하게 조화된 경험을 해보세요. 이 시스템은 유해한 가스 누설을 방지하기 위해 지속적인 음압을 유지하기 위해 외부 공기를 계속해서 케이스로 끌어들여 사용중 노출을 최소화합니다.
Fume and Sample Auto Handling System
Fume Sample Auto Loading/Unloading System은 사용자에게 가장 안전하고 편리한 시스템입니다. Fume 케이스를 통해 음압을 유지하여 가스 누출을 방지하면서 Fume을 여닫지 않고도 자동으로 시료를 교환할 수 있는 자동화 시스템입니다. 시료교환 버튼을 누르면 자동으로 메인챔버가 올라가고 시료대가 Fume 케이스를 열며 사용자 쪽으로 이동합니다. 샘플을 배치한 후에는 자동으로 시료대가 다시 챔버로 삽입되어 진공 및 코팅 프로세스가 자동으로 시작되며 전 과정에서 챔버 내의 잔류 물질에 대한 사용자 노출을 최소화합니다.
